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Влияние твердофазной рекристаллизации с двойной имплантацией на плотность структурных дефектов в ультратонких слоях кремния на сапфире...
von
Федотов, С.Д.
,
Стаценко, В.Н.
,
Егоров, Н.Н.
,
Голубков, С.А.
Veröffentlicht in
Fizika tverdogo tela
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ВЛИЯНИЕ ТВЕРДОФАЗНОЙ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ С ДВОЙНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ НА ПЛОТНОСТЬ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В УЛЬТРАТОНКИХ СЛОЯХ КРЕМНИЯ НА САПФИРЕ...
von
Егоров, Н.Н.
,
Голубков, С.А.
,
Федотов, С.Д.
,
Стаценко, В.Н.
,
Романов, А.А.
,
Метлов, В.А.
Veröffentlicht in
NANOINDUSTRY Russia
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