РАЗРАБОТКА ПЛАНАРНОЙ МЭМС ТЕХНОЛОГИИ АВТОЭМИССИОННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР В КАЧЕСТВЕ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ ВАКУУМНОЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ... von Грязнева, Т.А., Дёмин, Г.Д., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ von Денисов, В.Е., Орешкин, Г.И., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Махиборода, М.А.

Volltext

РАЗРАБОТКА ПЛАНАРНОЙ МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ АВТОЭМИССИОННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР В КАЧЕСТВЕ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ ВАКУУМНОЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ... von Грязнева, Т.А., Демин, Г.Д., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А., Махиборода, М.А.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ von Денисов, В.Е., Орешкин, Г.И., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А.

Volltext

МЕМБРАННЫЙ МЭМС-ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ТЕПЛОВОМ ПРИНЦИПЕ ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ... von Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Демин, Г.Д., Орешкин, Г.И., Дюжев, Н.А., Машевич, П.Р.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-СЕНСОР ПОТОКА ДЛЯ КОМПАКТНОГО ГАЗОВОГО ХРОМАТОГРАФА von Чиненков, М.Ю., Дюжев, Н.А., Демин, Г.Д., Рябов, В.Т., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Елисеев, М.А., Платонов, В.И.

Volltext