ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕПЛОВОГО МЭМС-СЕНСОРА МАССОВОГО РАСХОДА ГАЗА von Рябов, В.Т., Дюжев, Н.А.

Volltext

РАЗРАБОТКА ПЛАНАРНОЙ МЭМС ТЕХНОЛОГИИ АВТОЭМИССИОННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР В КАЧЕСТВЕ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ ВАКУУМНОЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ... von Грязнева, Т.А., Дёмин, Г.Д., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ДЕТЕКТОРА ПО ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ НА ИНТЕГРАЛЬНОЙ ОСНОВЕ В УСЛОВИЯХ КАПИЛЛЯРНОЙ ГАЗОВОЙ ХРОМАТОГРАФИИ... von Платонов, В.И., Платонов, И.А., Поздняков, М.М., Чиненков, М.Ю., Дюжев, Н.А.

Volltext

РАСЧЕТ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫХ СЕНСОРОВ УГЛА ПОВОРОТА ДЛЯ РОБОТИЗИРОВАННОЙ УМНОЙ ПЕРЧАТКИ... von Глаголев, П.Ю., Демин, Г.Д., Чиненков, М.Ю., Дюжев, Н.А.

Volltext

МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПЕРМАЛЛОЯ ДЛЯ АНИЗОТРОПНЫХ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР... von Дюжев, Н.А., Демин, Г.Д., Медведев, Б.К., Андрюшин, Р.Н., Носкова, Д.Д.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МЕМБРАН, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В МЭМС-ПРИБОРАХ von Глаголев, П.Ю., Глаголев, Е.Э., Махиборода, М.А., Дюжев, Н.А.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ МЭМС-СЕНСОРОВ РАСХОДА ГАЗА: КОНСТРУКЦИЯ, РАСПОЛОЖЕНИЕ В ПОТОКЕ ГАЗА И ФОРМИРОВАНИЕ СИГНАЛА... von Дюжев, Н.А., Рябов, В.Т., Машевич, П.Р., Сретенский, В.В.

Volltext

РАЗРАБОТКА ПЛАНАРНОЙ МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ АВТОЭМИССИОННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР В КАЧЕСТВЕ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ ВАКУУМНОЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ... von Грязнева, Т.А., Демин, Г.Д., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А., Махиборода, М.А.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ von Денисов, В.Е., Орешкин, Г.И., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А.

Volltext

РАЗРАБОТКА И ИНТЕГРАЦИЯ ГАЗОАНАЛИЗАТОРОВ В ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ ЭКОЛОГИЧЕСКОГО МОНИТОРИНГА von Чиненков, М.Ю., Дюжев, Н.А., Переверзев, А.Л., Рябов, В.Т.

Volltext

ТЕХНОЛОГИЯ ВРЕМЕННОГО БОНДИНГА ДЛЯ ПЕРЕНОСА ЗНАКОВ СОВМЕЩЕНИЯ НА ТОНКИХ ПЛАСТИНАХ von Дюжев, Н.А., Гусев, Е.Э., Махиборода, М.А., Машевич, П.Р., Иванин, П.С., Фомичёв, М.Ю.

Volltext

МЕМБРАННЫЙ МЭМС-ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ТЕПЛОВОМ ПРИНЦИПЕ ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ... von Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Демин, Г.Д., Орешкин, Г.И., Дюжев, Н.А., Машевич, П.Р.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-СЕНСОР ПОТОКА ДЛЯ КОМПАКТНОГО ГАЗОВОГО ХРОМАТОГРАФА von Чиненков, М.Ю., Дюжев, Н.А., Демин, Г.Д., Рябов, В.Т., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Елисеев, М.А., Платонов, В.И.

Volltext