КОМПЛЕКТ СПЕЦИАЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭКБ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 200 ММ С УРОВНЕМ ТЕХНОЛОГИИ 180-65 НМ... von Бирюков, М.Г., Варакин, В.М., Долгополов, В.М., Иракин, П.А., Одинцов, В.В., Панин, В.В., Шубников, А.В.

Volltext

Новое оборудование для травления кремниевых структур на пластинах диаметром до 200 мм von Долгополов, В.М., Одиноков, В.В., Иракин, П.А., Варакин, В.М.

Volltext

МОДУЛЬНОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ von Бирюков, М.Г., Одиноков, В.В., Панин, В.В., Долгополов, В.М., Шубников, А.В.

Volltext

ИСПЫТАНИЯ КОМПЛЕКТА СПЕЦИАЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ И БАЗОВЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭКБ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 200 ММ С УРОВНЕМ ТЕХНОЛОГИИ 180-65 НМ... von Варакин, В.М., Гвоздев, В.А., Долгополов, В.М., Иракин, П.А., Кузнецов, П.И., Мицын, Н.Г., Одиноков, В.В., Панин, В.В., Резванов, А.А., Шубников, А.В.

Volltext

КОМПЛЕКТ ПРОМЫШЛЕННОГО ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 150 И 200 ММ... von Одиноков, В.В., Панин, В.В., Долгополов, В.М., Иракин, П.А., Шубников, А.В., Самарцев, А.С., Моргун, С.В.

Volltext