АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ УСТАНОВКИ «ИЗОФАЗ Т. 200-01 von Зюзин, С.С., Яссеев, Я.Г., Резванов, А.А., Панин, В.В., Гвоздев, В.А., Горнев, Е.С.

Volltext

ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННОЕ АТОМНОСЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ von Зюзин, С.С., Резванов, А.А., Горнев, Е.С., Панин, В.В., Гвоздев, В.А., Зассеев, Я.Г.

Volltext

ФОРМИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННЫХ БАРЬЕРОВ В СИСТЕМЕ МЕДНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В МЕТОДЕ GAP FILLING von Орлов, А.А., Резванов, А.А., Гвоздев, В.А., Кузнецов, П.И., Серегин, Д.С., Веселов, А.А., Блумберг, Т., Сузуки, Т., Морозов, Е.Н.

Volltext

ИСПЫТАНИЯ КОМПЛЕКТА СПЕЦИАЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ И БАЗОВЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭКБ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 200 ММ С УРОВНЕМ ТЕХНОЛОГИИ 180-65 НМ... von Варакин, В.М., Гвоздев, В.А., Долгополов, В.М., Иракин, П.А., Кузнецов, П.И., Мицын, Н.Г., Одиноков, В.В., Панин, В.В., Резванов, А.А., Шубников, А.В.

Volltext