60 ЛЕТ НА ПЕРЕДОВЫХ РУБЕЖАХ РАЗВИТИЯ ОТЕЧЕСТВЕННОГО СТО ДЛЯ РОССИЙСКОЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ von Бирюков, М.Г.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАБОТЫ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫМИ ИСПАРИТЕЛЯМИ von Одиноков, В.В., Бирюков, М.Г.

Volltext

МОДУЛЬНОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ von Бирюков, М.Г., Одиноков, В.В., Панин, В.В., Долгополов, В.М., Шубников, А.В.

Volltext

КОМПЛЕКТ СПЕЦИАЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭКБ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 200 ММ С УРОВНЕМ ТЕХНОЛОГИИ 180-65 НМ... von Бирюков, М.Г., Варакин, В.М., Долгополов, В.М., Иракин, П.А., Одинцов, В.В., Панин, В.В., Шубников, А.В.

Volltext

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ... von Бирюков, М.Г., Одиноков, В.В., Афонин, П.Е., Шубников, А.В., Панин, В.В., Устинов, В.М., Цуцульников, А.Ф., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Стаценко, В.Н., Федотов, С.Д., Талалаев, Р.А., Базаревский, Д.С.

Volltext