ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УГЛА НАКЛОНА СТЕНКИ ФШ НА ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИИ von Харченко, Е.Л., Балан, Н.Н.

Volltext

РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМА ПОИСКА ЯКОРНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ОДНОВРЕМЕННОЙ ОПТИМИЗАЦИИ ИСТОЧНИКА ОСВЕЩЕНИЯ И МАСКИ... von Соколова, Е.В., Балан, Н.Н.

Volltext

РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМА ПОИСКА ЯКОРНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ОДНОВРЕМЕННОЙ ОПТИМИЗАЦИИ ИСТОЧНИКА ОСВЕЩЕНИЯ И МАСКИ... von Соколова, Е.В., Балан, Н.Н.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УГЛА НАКЛОНА СТЕНКИ ФОТОШАБЛОНА НА ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИИ... von Харченко, Е.Л., Балан, Н.Н.

Volltext

МЕТОД РАЗРАБОТКИ СПЕЦИФИКАЦИИ НА ФОТОШАБЛОНЫ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА СБИС СОВРЕМЕННЫХ ПРОЕКТНЫХ НОРМ von Панкратов, А.Л., Балан, Н.Н., Иванов, В.В.

Volltext

МЕТОД РАЗРАБОТКИ СПЕЦИФИКАЦИИ НА ФОТОШАБЛОНЫ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА СБИС СОВРЕМЕННЫХ ПРОЕКТНЫХ НОРМ von Панкратов, А.Л., Балан, Н.Н., Иванов, В.В.

Volltext

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЛИТОГРАФИЧЕСКОГО СТЕКА И ОСВЕТИТЕЛЯ ПРИ РАЗРАБОТКЕ OPC-РЕШЕНИЙ ДЛЯ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ПЕРСПЕКТИВНОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ 28 НМ... von Балан, Н.Н., Иванов, В.В., Кузовков, А.В.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕХОДА К ФОТОЛИТОГРАФИИ УРОВНЯ 28 НМ von Шипицин, Д.С., Панкратов, А.Л., Балан, Н.Н., Иванов, В.В., Кузовков, А.В.

Volltext

ТИПОВАЯ ОЦЕНОЧНАЯ СПЕЦИФИКАЦИЯ НА ФОТОШАБЛОНЫ КРИТИЧЕСКИХ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ СЛОЕВ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА СБИС ПРОЕКТНЫХ НОРМ 28 НМ... von Балан, Н.Н., Иванов, В.В., Панкратов, А.Л., Харченко, Е.Л.

Volltext

МОДЕЛЬ ОЦЕНКИ ВРЕМЕНИ ВЫПОЛНЕНИЯ ОРС ДЛЯ CALIBRE OPCPRO von Кузовков, А.В., Иванов, В.В., Балан, Н.Н., Харченко, Е.Л.

Volltext

СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДИКИ RET КАК СРЕДСТВО ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИЯХ ПРЕДЫДУЩИХ ПОКОЛЕНИЙ... von Балан, Н.Н., Иванов, В.В., Кузовков, А.В., Харченко, Е.Л.

Volltext

СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДИКИ RET КАК СРЕДСТВО ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИЯХ ПРЕДЫДУЩИХ ПОКОЛЕНИЙ... von Балан, Н.Н., Иванов, В.В., Кузовков, А.В., Харченко, Е.Л.

Volltext

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ НЕЙРОСЕТЕВЫХ АЛГОРИТМОВ В ЗАДАЧАХ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНОЙ ЛИТОГРАФИИ von Балан, Н.Н., Березин, А.А., Горнев, Е.С., Иванов, В.В., Ипатова, Е.В., Кузовков, А.В., Шканакина, М.Д.

Volltext