Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода... von Соболев, Н.А., Калядин, А.Е., Аруев, П.Н., Забродский, В.В., Шек, Е.И., Штельмах, К.Ф., Карабешкин, К.В.

Volltext