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Development of Calibration Equipment for Geodetic Angle Measurement Instruments
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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A virtual microscope for simulation of Nanostructures
Veröffentlicht in EPJ Web of conferences
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Modelling of linear test bench for short distance measurements
Veröffentlicht in Acta IMEKO
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Comparison measurements for hybrid evaluation approaches in optical nanometrology
Veröffentlicht in EPJ Web of conferences
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Hybrid metrology for nanometric energy harvesting devices
Veröffentlicht in Measurement science & technology
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Deep-reactive ion etching of silicon nanowire arrays at cryogenic temperatures
Veröffentlicht in Applied physics reviews
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Forward simulation of coherent beams on grating structures for coherent scatterometry
Veröffentlicht in arXiv.org
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