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Zr, ZrN and Zr/Al Thin Films Deposition Using Arc Evaporation and Annealing
Veröffentlicht in Acta physica Polonica, A
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Deposition of Zr–ZrOX and Y–YXOY films by reactive magnetron sputtering
Veröffentlicht in Vacuum
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Synthesis of ZrO2/Y2O3 by combined arc and magnetron sputtering technique
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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