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    Materials & Process Integration for MEMS

    Veröffentlicht 2002
    Weitere Verfasser: “… Tay, Francis E. H. …”
    DE-573
    DE-634
    URL des Erstveröffentlichers
    Elektronisch E-Book
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    Microfluidics and BioMEMS Applications

    Veröffentlicht 2002
    Weitere Verfasser: “… Tay, Francis E. H. …”
    DE-573
    DE-634
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