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High resolution focused ion beams FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused beam technology von Orloff, Jon, Utlaut, Mark, Swanson, Lynwood W.
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High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology von Orloff, Jon, Utlaut, Mark, Swanson, Lynwood
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