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    CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers

    CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers von Sohal, Rakesh 1974-

    Veröffentlicht 2006
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    Abschlussarbeit Buch

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