Abscheidung Phosphor-dotierter SiO 2 -Schichten zur Passivierung von optoelektronisch-integrierten Empfängern von Riemenschneider, Rolf

Inhaltsverzeichnis

Förderkonzept: Mikrosystemtechnik 2000+, MST in Europa [MST für High-Tech-Produkte made in Germany] von Steg, Horst, Botthof, Alfons, Riemenschneider, Rolf