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    Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

    Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) von Achenbach, S., Pantenburg, F. J., Mohr, Jürgen

    Veröffentlicht 2000
    Abschlussarbeit Buch

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