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    Fundamental principles of engineering nanometrology

    Fundamental principles of engineering nanometrology von Leach, Richard K.

    Veröffentlicht 2010
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    Design of a co-ordinate measuring probing system for characterising three-dimensional micro-structures

    Design of a co-ordinate measuring probing system for characterising three-dimensional micro-structures von Leach, Richard K., Murphy, Jennifer, Wilson, Alan

    Veröffentlicht 2004
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