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    Untersuchung und Verbesserung von unter verschiedenen Prozess-Bedingungen hergestellten optischen Siliziumnitrid-Wellenleitern.

    Untersuchung und Verbesserung von unter verschiedenen Prozess-Bedingungen hergestellten optischen Siliziumnitrid-Wellenleitern. von Kurzel, Oliver Steffen

    Veröffentlicht 2020
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    Abschlussarbeit Buch

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