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    Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop

    Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop von Klehn, Bernd

    Veröffentlicht 1999
    Buch

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    Vertikale Nanostrukturierung in Si-Schichtsystemen mittels Anodischer Oxidation

    Vertikale Nanostrukturierung in Si-Schichtsystemen mittels Anodischer Oxidation von Klehn, Bernd

    Veröffentlicht 1992
    Buch

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