Entwicklung von siliziumbasierten Transistoren für den Einsatz bei hohen Temperaturen in der Gassensorik von Iskra, Peter

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Determining the acoustic resistance of small sound holes for MEMS microphones Proc. Eurosensors XXV, September 4-7, 2011, Athens, Greece von Feiertag, Gregor, Winter, Matthias, Bakardjiev, Petko, Schröder, Elmar, Siegel, Christian, Yusufi, Mustafa, Iskra, Peter, Leidl, Anton

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