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    Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package

    Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package von Waber, Tobias, Sax, M., Pahl, Wolfgang, Stufle, S., Leidl, Anton, Guenther, Margarita, Feiertag, Gregor

    Veröffentlicht 2014
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