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Von der Kerntechnik zur Mikrotechnik von Becker, E. W.
Veröffentlicht 1989Signatur: Wird geladen …
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Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Becker, E. W., Ehrfeld, Wolfgang 1938-, Münchmeyer, D.
Veröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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